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玻璃行业
应用案例——玻璃行业 经典案例：光学器件的失效分析 TOF-SIMS仪器的溅射性能不断发展为飞行时间双束深度剖析开辟了新的应用领域。 溅射速率最高可达10 μm/h，使得μm范围内的深度分析得以实现。并且脉冲方式的分析特点使其也非常适合绝缘材料的分析。 该特性与并行质量检测相结合使得TOF-SIMS双束深度剖析非常适合于分析未知物（例如逆向工程，失效分析，界面分析等）。 下面的例子是典型的失效分析。下面两个图分别是在一个“正常”和一个“失效”样品上获得的。两者的层结构和厚度的差异可以清楚地从图上得知。因此，导致该光学器件失效的原因，很有可能通过质谱对比得到阐明。
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