应用案例-飞行时间二次离子质谱 (TOF-SIMS) 德国IONTOF

飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）的应用领域非常广泛，如半导体，微电子，薄膜，纳米材料，化学，医药，生物，冶金，汽车等领域。

对样品的分析，如痕量金属探测，化合物结构测定，精确原子量测定，同位素标定，失效分析等方面的研究应用也非常广泛。

相对于XPS，AES等表面分析方法，TOF-SIMS具有非常高的表面灵敏度，每一次轰击所采集的信息仅来自于表面1 nm，它可以分析包括氢(H)在内的所有元素及其同位素，可以分析包括有机大分子在内的化合物，具有更高的横向分辨率(< 50 nm)，纵向分辨率(< 1 nm)，以及极高的探测极限(~ppb量级)。

行业案例（文章）

半导体材料行业

痕量金属检测和定量；
超浅层深度剖析；
硅片表面有机污染监测；
ALD制备技术的超薄膜分析。
高分子材料行业

静态SIMS是获取分子结构信息的理想分析技术。直观诊断高分子材料变色起因，例如聚合物添加剂发生相分离。
漆面和涂层领域

出于装饰和防护的目的，涂料对许多工业产品来说越来越重要。
在TOFSIMS质谱图中，漆面缺陷和涂层密合质量，以及车漆涂层断面上的化学成分一目了然。
生物材料行业

TOF.SIMS 5 分析生物细胞和组织无需对样品化学制备，原始生化信息保留完好。Duchenne型肌营养不良症的脂质分子离子质谱图，成功揭示诱发肌肉坏死的重要化学因素。
制药行业

药物生产检控：
以片剂药物与微米级药物微珠为例，
TOF-SIMS技术轻而易举得到药物成分的成像鉴定与含量测定。
玻璃行业

以高达10 μm/h的溅射速率，先进溅射性能的TOF-SIMS双束深度剖析技术强力助攻光学器件失效分析。
印刷与造纸行业

借助TOF-SIMS成像，可轻松侦别交叠签名的墨迹层次顺序，分析纸张处理的过程和工艺。
金属材料行业

多晶金属氧化物中的扩散过程分析与扩散机制研究（借助TOF-SIMS的三维化学成分成像和后期分析数据重建功能）
工业催化剂行业

丙烷分解工业催化剂的最佳催化性能对应组分及其配比探索。
甲醇合成工业催化剂的催化活性恢复机制探索。

标题

应用案例（视频）

2、ToF-SIMS作为新型指纹技术应用于刑侦

研究进展

金属材料的应用研究（一）

TOF-SIMS在金属材料领域有着广泛的应用，如工艺处理过程的研究、铜基板上的焊接残留、金属中的杂质成分、深度扩散研究、金属材料的表面成像以及三维分析、同位素比测试、截面成像、温度变化测试等。
半导体领域的最新进展（一）

本文主要分享表面的痕量金属的检测和定量、表面污染检测等方面的进展。
锂离子电池中钝化层的表征

作为新能源领域的重要组成部分，锂电产业发展迅速。有不少专家学者致力于相关的研究，来自德国吉森大学的Svenja-K. Otto等学者们对锂离子电池中钝化层的分析表征展开了研究。
高分子材料行业

作为表面分析方法之一，ToF-SIMS的应用领域非常广。在生物领域，ToF-SIMS的质谱和成像技术可以帮助我们深入研究样品中不同成分的分布情况，进而阐明相关的生物学作用，为生物技术提供有力的参考。