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飞行时间二次离子质谱 TOF.SIMS 5飞行时间二次离子质谱仪 TOF.SIMS 5 具有适用于所有SIMS应用的卓越性能： TOF.SIMS 5 是过去25年来开发的一代高端 TOF-SIMS仪器。其设计保证了 SIMS应用于任何领域都能达到高性能。灵活的高精度样品导航以及成功的电荷补偿功能允许对几乎所有类型的样品进行分析，使 TOF.SIMS 5 成为市场上非常灵活的 SIMS工具。
由于采用模块化设计，仪器可配置一系列优化的离子枪、样品制备设备和各种特殊配件，以满足高挑战性的分析任务。仪器所有功能和参数均由计算机控制，确保了仪器的易用性和高度自动化。
TOF.SIMS 5 仪器主体配备一个高质量分辨率和高二次离子传输率的反射型 TOF 分析器，一个带有可灵活导航的5轴（x，y，z，旋转和倾斜）样品台的样品分析室，一个快速进样室，一个用于绝缘样品分析的电荷补偿装置，一个用于SEM成像的二次电子探测器，一套先进的真空系统，以及一套用于自动化和数据处理的拓展软件包。 提供各种不同的功能选项和附件，例如用于分析挥发物的样品加热和冷却功能，中性粒子的激光后电离等。还提供例如原位样品制备室和样品转移系统的配置。特别是通过与XPS，俄歇和其他仪器的超高真空互联，可实现在样品免于暴露大气的前提下，进行多技术分析。
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