飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)的应用领域非常广泛,如半导体,微电子,薄膜,纳米材料,化学,医药,生物,冶金,汽车等领域。
对样品的分析,如痕量金属探测,化合物结构测定,精确原子量测定,同位素标定,失效分析等方面的研究应用也非常广泛。
相对于XPS,AES等表面分析方法,TOF-SIMS具有非常高的表面灵敏度,每一次轰击所采集的信息仅来自于表面1 nm,它可以分析包括氢(H)在内的所有元素及其同位素,可以分析包括有机大分子在内的化合物,具有更高的横向分辨率(< 50 nm),纵向分辨率(< 1 nm),以及极高的探测极限(~ppb量级)。
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