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低能离子散射谱 Qtac-100

时间:2018-05-16     作者:北京艾飞拓科技   阅读

低能离子散射谱 Qtac-100


催化反应一般只发生在材料的最表层。低能离子散射谱(Low-Energy In Scattering ,LEIS)利用具有特定能量的惰性气体离子入射到样品表面,与样品表面的原子进行弹性碰撞。根据弹性散射理论,散射离子的能量分布与表面原子的原子量相关。通过对散射离子能量进行分析,就可以得到表面元素组分及表面结构的信息。低能离子散射谱所获得的信息来自样品的最表层,因而是研究表面成分、表面结构以及表面过程的强有力的手段。


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     低能粒子散射谱原理示意图

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ION-TOF公司的Qtac-100型低能离子散射谱仪采用新型离子收集器,相比传统LEIS系统,灵敏度提高3000倍!



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主要特点如下:

1、新型的全方位角离子收集器,可以收集样品表面特定区域的几乎全部反射离子。

2、超高的表面灵敏度,信息深度一般在3个原子层之内。

3、良好的定量特性。

4、离子源可以工作在高束流模式和分析模式之间切换,可以对样品进行清洁和溅射。

5、自动化的真空系统、完善的互锁装置,使操作更简单

6最表层原子定量分析。



    低能离子散射谱(LEIS)的一个显著特点就是其超高的表面灵敏度和良好的定量性。相对于其他常见的表面分析手段,例如XPS 、 AES ,它最大的特点是可以把信息深度缩小到单原子层厚度。配合上深度剖析, 则可以实现从表面单原子层成分分布成像,到样品深度方向成分变化等多种测量。

   应用:

1、可以与多种生长设备和其他分析设备集成;

2、可用于单原子层沉积过程和生长动力学研究;

3、可用于分析粗糙表面和绝缘材料分析;

4、可用于于材料催化性能研究;

5、可用于生物材料、半导体材料等性能研究。


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Q-tac 应用实例




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 Qtac 系统实物























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