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Qtac 产品科技时间：2019-05-21
LEIS（低能离子散射谱）原理
低能离子散射谱（LEIS）测试分析是用能量为几keV的惰性气体离子轰击样品表面。根据能量和动量守恒定律，离子被表面原子散射。通过测量背散射离子的能量，可以确定表面散射原子的质量。 采用Qtac100先进的分析器设计，可以使测量得到的信号强度直接正比于相应元素的表面覆盖率，而不受基底化学环境的影响。
表面质谱 这种准非破坏性表面分析可以通过施加极低束流密度的一次离子来实现。 表面质谱提供来自顶表层原子的元素定量信息。
表面成像 通过聚焦离子束在样品表面上进行扫描，可以获得高质量分辨率的元素图像（化学成分图）。
深度剖析 在LEIS中，检测到的大多数离子都是被表面原子所散射。那些被顶表面层原子下方的原子所散射的离子会损失与原子所在深度成比例的额外能量。
通过使用安装在Qtac100上的低能溅射离子源，采用LEIS的双束模式进行分析测试，可以获得高分辨率的化学成分深度剖析。 |
