SIMS / SPM 联用

SIMS / SPM 联用

获取有关纳米级材料和器件的化学成分，物理性质和三维结构的信息对于推动纳米科学和纳米技术的新发展具有重要意义。在三维TOF-SIMS测量中，样品表面的原始形貌以及实验过程中的形貌变化无法轻易识别。

扫描探针显微镜（SPM）提供有关表面形貌的补充信息，这些形貌信息也可用于测量分析样品的物理性质。

通过这两种技术的结合，真正意义上的原位三维化学成分成像成为可能。

新型的TOF.SIMS NCS平台结合了高端TOF.SIMS 5的所有常规选项和可以进行原位形貌测量的SPM组件。大面积SPM单元的扫描范围高达80 x 80 x10 μm³，非常适合为真正的三维SIMS测量提供表面形貌信息。

除了AFM，MFM，KPFM和多频模式外，它还支持一种可以快速测量大型SIMS溅射坑的独特表面轮廓分析模式。

亚微米级别的定位精度

        TOF.SIMS NCS的新型压电样品台具有亚微米级别的定位精度，确保了TOF-SIMS和SPM测量位置之间的快速和精确的移动。

该设计具有10 nm的最小步长和高达10 mm / s的行进速度，确保该样品台的精度和稳定性上升到新的层次。

TFT显示器像素的真实三维化学成分像

以下示例显示了TFT显示器像素的三维分析。由于这种显示器的像素单元器件具有很显著的原始表面形貌差异，单独使用TOF-SIMS数据得到的三维化学成分表征是不正确的。

通过将TOF-SIMS的化学成分信息与SPM的形貌信息相结合，可以得到真实的三维化学成分像。

表面轮廓分析模式

      TOF.SIMS NCS的SPM模块可对大型溅射坑进行深入分析。在表面形貌分析模式中，通过将多次SPM扫描结果拼接在一起实现长线SPM扫描。这种独特的SPM模式对精确测定溅射坑的深度或以纳米精度测量其粗糙度都非常有用。

    该示例显示了硅中1.1 μm深溅射坑的SPM表面形貌扫描。该长线扫描由多个单独的SPM扫描组成。整个扫描记录的时间少于3分钟，并且可得知样品表面的表面粗糙度为0.7 nm（RMS），溅射坑内的表面粗糙度为10.3 nm（RMS）。